임진왜란 전에 영산전(靈山殿)과 서전(西殿)을 건립하였으나 임진왜란 때 영산전만이 남고 모두 전소되었다. 성원은 1603년에서 1609년(광해군 1) 사이에 선당(禪堂)을 건립하였고, 불전(佛殿)·승사(僧舍)를 중건하였다. 1701년(숙종 27)에는 진성(眞性)이 중수하였고, 1721년에는 천옥(天玉)이 중건하였다. 그 뒤 혜능(惠能)이 요사채를 신축하였으며, 재헌(在軒)과 유일(有逸)이 원통전(圓通殿)을 중수하고 청련암(靑蓮庵)을 이건하였다. 1899년과 1906년에는 설운(雪雲)이 절을 중수하고 선방(禪房)을 신축하였다. 현존하는 당우로는 보물 제730호인 불영사응진전(佛影寺應眞殿)을 비롯하여 극락전·대웅보전·명부전(冥府殿)·조사전(祖師殿)·칠성각·범종각·산신각·황화당(黃華堂)·설선당(說禪堂)·응향각..